Odată cu dezvoltarea industriei semiconductoare din China, dezvoltarea componentelor cheie pentru echipamentele de proces a devenit o constrângere critică pentru dezvoltarea echipamentelor. Pe măsură ce cererea de localizare a tehnologiei semiconductoare interne devine mai puternică, tot mai multe tehnologii de blocaj din industria semiconductoarelor vor fi depășite. Bazându-se pe ani de experiență în industria semiconductoarelor, compania noastră a dezvoltat un servomotor cu -ax-cu viteză mare pentru adsorbția plachetelor în echipamentele de acoperire, dezvoltare și curățare a semiconductorilor. Acest motor are o accelerație mare, o gamă largă de viteze și o capacitate de răspuns ridicată și a fost lăudat pe scară largă de clienții din industrie.
Aplicații ale servomotorului cu arbore tubular-:
Echipamente de expunere și dezvoltare (acoperire, dezvoltare): principalul echipament pentru procesele de fotolitografie, controlul acoperirii, expunerii și dezvoltării.
Echipamente de curățare, acoperire, dezvoltare și îndepărtare a peliculei.
Potrivit pentru curățarea fizică cu clătire, curățarea particulelor și procesele de pulverizare.
Specificațiile produsului și domeniile de aplicare ale servomotorului cu arbore tubular:
750W/1000W – 5000, 6000 rpm
Domenii de aplicație (Modele-de înaltă calitate):
Echipamente semiconductoare de 8 inchi și 12 inchi.
Procese precum acoperirea, dezvoltarea, curățarea și gravarea.
Accelerația maximă poate atinge o accelerație instantanee de 50000 R/S².
Designul special al capătului arborelui asigură cel mai scăzut coeficient de deformare a sarcinii la capătul arborelui.
